超大熔融石英安全玻璃产品的大小在测量

与普通玻璃相比，石英玻璃的透光性、耐热性、耐腐蚀性等更加优秀，大量用于光学部件、半导体、半导体制造装置的部件。
石英玻璃制品的尺寸常常用手动工具或龙门式三坐标测量仪等接触式测量设备来测量，这些设备根据测量点区分使用。
但是，这些测量设备越来越难以在确保尺寸精度的同时，满足缩短制造和安装所需时间等要求。
下面将说明石英玻璃的基础知识。此外，还着眼于尺寸测量的必要𝄹性和应注意的测量要点、因测量设备不同而造成的效率差异，并介绍实现测量效率提升的各种案例。

甚么是石英砂磨砂玻璃
大型石英玻璃制品尺寸测量的必要性
大型石英玻璃制品的尺寸测量
石英玻璃制品尺寸测量的难题和解决方法
- 石英舟、石英管的尺寸测量
大型石英玻璃制品尺寸测量的高效化

什么是石英玻璃

石英石破璃是种破璃，由超标饱和度的月光石（二氧化的硅：SiO2）成。与平常破璃（钠钙破璃）相较于，废金属等沉渣较少，故而透光和耐低温性市场大的。客户充分利用该特殊性，将其用在眼镜镜片和菱镜等电子光学组件、光电器件技术开发安全装置组件、光电器件技术、室温箱窗子等的材质。

与普通玻璃的区别

通常玻离由其名为硅砂的细沙加工而成，有刺激性各种各样沉渣。与此相对的，石英砂砂玻离的制造原材料是炼制或物理生成的晶体。石英砂砂玻离的沉渣少，因为有隔热性非常的高的优势特点。因此，它的耐熱性强，热增长数值非常低，可承受压力急剧下降的温度表转化。

石英玻璃的种类

按照制造厂技术，熔融石英石石破璃窗可基本分类“熔结熔融石英石石破璃窗”和“转化成熔融石英石石破璃窗”。

熔结石英玻璃

熔结熔融石英晶体磨砂的玻璃的创造最比较简单的方法是，将珍珠五金粉在氢氧焰或炉里熔融，第二步待冷却。原石珍珠中含五金杂物较多，不赢可按照熔炼的还原五金杂物，完成高通透程度度。创造比较简单，能以高出合出熔融石英晶体磨砂的玻璃的资金创造。

合成石英玻璃

化解成熔融石英砂晶体安全磨砂玻璃板以不溶物较少的白水晶为主料进行普通机械化解成，如合理利用氢和氧将硅烷单质加入水化解等，就此制作方法而成。与熔结熔融石英砂晶体安全磨砂玻璃板相对比，在广袤的光的波长位置内的透光率選择秀。只是，它请求在洁净坏境添加工，制作生产成本因此超过熔结熔融石英砂晶体安全磨砂玻璃板。

石英玻璃的用途

石英玻璃具有高耐热性和高透光性，主要用于电气电子设备。
熔结石英玻璃的高耐热性适合耐热形状稳定性高的部件，用于半导体制造中的热处理工艺等高温工艺的炉心管、石英舟、灯用材料等。此外，还用于真空蒸镀装置、真空室等。
合成石英玻璃由于其优异的均质性和透光性，用于半导体和液晶制造中使用的曝光装置的镜片和棱镜等光学部件、光纤、半导体和液晶制造使用的光掩模等。而且，对于化学品侵蚀的耐性也很强，具有较高的耐化学品性（氢氟𒐪酸、磷酸、碱、碱金属化合物的溶液及其气体等有限化学品除外），因此对使用化学品的半导体制造工艺的部件来说，是不可或缺的材料。

大型石英玻璃制品尺寸测量的必要性

石英玻璃大量用于电气电子设备和生产装置，均为尺寸精度要求极高的精密部件。因此，制造时的微小误差会直接导致产品不良。
例如，在半导体制造中以批量式进行成膜或蚀刻时使用的石英舟，将晶圆收纳在“载架”上。载架以数十块为单位收纳晶圆，收纳晶圆的间隔精度决定着工艺质量🐠。载架各部位的外径尺寸和石英舟的组装精度较低时，晶圆间隔产生偏差，无法实施正常的工艺处理，导致不良品出现。因此，制造时必须通过尺寸测量进行严格的检查。此外，热处理工艺中的石英舟有时会因为热量而变形，所以定期维护时的尺寸测量也必不可少。

大型石英玻璃制品的尺寸测量

较具意味着性的大型的熔融熔融石英晶体晶体石钢化玻璃板纺织品有半导体芯片打造保护装置中选用的熔融熔融石英晶体晶体石舟和熔融熔融石英晶体晶体石管、于夜晶打造的光掩模等，下方将以熔融熔融石英晶体晶体石钢化玻璃板打造的熔融熔融石英晶体晶体石舟概述，对宽度测定实现反映。

测量要点

在石英石舟的大小侧量中，上板和下板的水平线度各种与将二者之间依照的柱的直维度侧量相当必要。当这值发现偏差时，上板和下板的管理中心也有机会发现偏差，故而可以依据大小侧量做出查。与此同时，还都要侧量厨房收纳晶圆的载架的宽。这马上的联系到的工艺的牢靠性，是研发和限期维护与保养时必要的查点。

石英玻璃制品尺寸测量的难题和解决方法

在制造时以及引进后的定期维护中，都需要确认石英玻璃制品的尺寸精度。石英玻璃的透光性高，所以使用激光或LED光的测量仪很难测量。因此，可用接触式测量仪测量，但千分表、角度规等手动工具的精度不足，难以准确测量几何公差。而且用龙门式三坐标测量仪测量时，存在必须将精细的石英玻璃制品搬运至测量室、无法随时测量的问题。此外，操作必须熟练，因此能测量的作业人员十分有限。
石英玻璃制品尺寸测量中的此类难题导致交货和制造工艺启动延迟以及引进后工艺不良的情况相当常见。
为了解决这些问题，越来越多的人开始采用新款三坐标测量仪。

所采用基恩士大标准三坐标轴在线测定仪“WM系类”，能确认手机无线红外摄像头，以高精密度较在线测定熔融石英波璃工艺品的宽度。在在线测定标准内，可人权将近产品设备的浅处位置，2人也只需红外摄像头接受的简略操作方法就行在线测定。与千分表、层面规等自动改手动手段对比，在线测定效果无误差率，可来降钙素原检测在线测定。它还有着将在线测定大参数和CAD大参数来检测、从在线测定大参数转化CAD大参数的的功能。

石英舟、石英管的尺寸测量

石英舟的载架宽度、上板和下板的平面度、与柱形成的直角度等尺寸，以及作为石英舟覆盖罩的石英管的内外径、圆柱度、从圆柱中心至气体管中心的尺寸，都是重要的测量要素。
特别是石英管的内外径、圆柱度、从圆柱中心至气体管中心的尺寸，一旦偏离公差范围，就无法获得准确的内容量和高真空度，降低工艺的可靠性。
石英舟和石英管的各部位尺寸要求以1/10毫米为单位的精度，因此使用手动工具会导致精度不足。测量人员不同可能会令测量值产🔜生偏差，而且将翘曲和起伏作为平面度进行数值化较为困难。龙门式三坐标测量仪的测量人📖员有限，搬运至测量室需耗费大量工时。

采用“WM系列”，石英舟和石英管的尺寸也只需无线探头接触即可简单测量。与手动工具相比，测量结果无偏差，可进行定量测量。除石英管的内外径、从圆柱中心至气体管中心的尺寸之外，单人也可测量平面度、真圆度、圆柱度等几何公差并进行数值化，还能将虚拟线的距离可视化。
该产品是可以自由携带的便携规格，可携带至生产和安装现场，当场立即测量尺寸。可在安装状态下测量，不会因为工件装卸或移动发生变形。
而且可将测量结果自动转换为检测结果报告书。检测结果报告书附有照片，简明෴易懂，格式为富文本，可自由编辑。