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测量方法1反射型激光移位计

动用条件反射型后移计，以高抽样捕到圆内上1点的程度改变。

要点

  • 距离旋转中心越远，振幅越大，更容易捕捉。
  • 必须以超过振动频率10倍的采样速度进行测量。
LK-G系列
  • 三角测量方式
  • 超高速392 kHz采样
  • 可连接12台传感头

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LK-G系列
SI系列
  • 分光干涉方式
  • 超高分辨率1 nm
  • 配备φ2 mm微型传感器头

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SI系列

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