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在测量1反射型激光移位计

借助装有几台感知头并运算利用的特别数剧，来校正发生、平面磨度。

要点

  • 无因移动传感器头时的偏差而产生的测量误差。
  • 无需移动传感器头，因此检查效率较快。
  • 无需移动传感器头的机构。
LK-G系列
  • 三角测量方式
  • 超高速392 kHz采样
  • 可连接12台传感头

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LK-G系列
SI系列
  • 分光干涉方式
  • 超高分辨率1 nm
  • 配备φ2 mm微型传感器头

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SI系列

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