传统机型一般^*通过一维激光位移计检测槽口的位置。 随着晶圆薄型化发展，出现了翘曲变大后光点无法聚焦的问题。 LJ-X系列通过使用线激光，因此可以应对晶圆翘曲引起的位置偏ಌ差问题。

*与本大公司LK-G3000产品的的相当

近年来主滑动的24小时变幻和气温变幻，不锈材料锯的行距会产生转变。 能够准时对不锈材料锯实现行距量测，使更換滑动的前应可视化管理。

需要通过0.001μm的辨别好坏率去很高可靠性强，精密度在估测。 随着感测头不起热，之所以需要在平均体温对有大环境的零影晌和由平均体温漂移激发的零在估测不确定度的环境下去在估测。

切割工作片的板厚为极薄，平常唯有几百微米换算。生产加工后的刮刀也许会经常出现刀尖缺少或损伤的情況，按照开展对刮刀的板厚为展开測量，能否减少保护要求要的工时。

如何厂家手的髙度地段会发生的变化，或者会在晶圆媒介中与晶圆发生内部矛盾，但会需用每季度衡量。 能通过食用过量程感测器器探测器能于此穿过视口通过衡量。

食用衡量光学高倍显微镜或光学高倍显微镜参与云同步抽样。现象是人工工资衡量的区域有不同，需要用日子来检修。 WI-5000类型在雾面和白色产品上也可参与全部统一衡量，对此可解决人出现偏差的原因，改变判断日子。

测量晶圆边缘部的形状。仅需选择高度差和宽度、角度等测量工具，即可简单测量。另外，通过 3200 point/Profile的超高精细拍摄，实现以往^*难以达到的高精度形状测量。

*与本集团LJ-G5000的产品的较为

CL-3000产品系列适用超小型量测头，也方便于配置到系统上，只不过是硅晶圆等镜面玻璃梦想物，也可正常地量测路程。

搭载厚度测量时专属的传感头固定夹具及光轴调整功能，实现了出色的高精度厚度测量。
即使是表面粗略的晶圆，也能稳定地测量。

适用6个感应器头，及时是铸锭等大最终目标物，也可非打交道衡量。单独，旁边高速旋转旁边衡量，也可确保全周的外径、真圆度衡量。

随着漫光反射等因为，无法对油润强的槽外形通过非碰到估测，然而 LJ-X品类造出仰制以上抑制的专业化新产品研发能力，达到稳定的的外形估测。