传统机型一般^*通过💖一维激光位移计检测槽口的位置。 随着晶圆薄型化发展，出现了翘曲变大后光点无法聚焦的问题。 LJ-X系列通过使用线激光，因此可以应对晶圆翘曲引起的位置偏差问题。

*与本集团LK-G3000成品的较为

渐渐主滑轮的雷达回波图变现和温暖变现，丝绳锯的跨距会形成更变。 能够定时对丝绳锯来进行跨距衡量，使调整滑轮的时应信息可视化。

利用0.001μm的判别率实行超低精密度在线測量。 由感测头不发热的原因，如此需要在温差对欣赏这自然环境的零关系和由温差漂移造成的零在线測量误差值的具体情况下实行在线測量。

切除片的它的料厚非常薄，基本就两百多微米换算。生产制造后的刮刀将会突然出现刀尖缺少或损伤的事情，使用开展对刮刀的它的料厚对其进行测量方法，可能有效降低检修必备要的工时。

比如机器手的极高地点发生的的变化，会会在晶圆承载中与晶圆会产生不矛盾，但会需要定期存款校正。 根据操作很多程感应器器感应器还可以通过视口实现校正。

利用衡量体视体视显微镜或体视体视显微镜做限离线取样方法。间题是人员衡量的位址具备差别，要有要花时光来查检。 WI-5000产品在鏡面和公开原料上也可做中央集权衡量，由此可不要应为人为数据误差，改变监测时光。

测量晶圆边缘部的形状。仅需选择高度差和宽度、角度等测量工具，即可简单测量。另外，通过 3200 point/Profile的超高精细拍摄，实现以往^*难以达到的高精度形状测量。

*与本集团公司LJ-G5000产品设备的较

CL-3000系列的采用了超小型检测的头，也有利连接到平衡装置上，即便是硅晶圆等镜面板梦想物，也可合理地检测的差距。

搭载厚度测量时专属的传感头固定夹具及光轴调整功能，实现了出色的高精度厚度测量。
即使是表面粗略的晶圆，也能稳定地测量。

用1个感测器头，纵然是铸锭等大任务物，也可非遇到衡量。其它，一遍推动一遍衡量，也可达到全周的外径、真圆度衡量。

考虑到漫反射性等原因分析，比较难对光滑强的槽图案开始非接触性预估，但有LJ-X型号研制抑制性等等侵扰的个性化研发管理特点，保持相对稳定的图案预估。