款式检测的脉冲光显微体统 优点 缺点 - 可用较深的焦点深度且彩色地观测目标对象。 - 可以获取三维形状，并显示彩色3D 图像。 还能对抗蚀剂等透明体进行膜厚测量。 - 可在大气中进行分析，无需预处理样本。 - 不受样本大小和材质的限制，操作简单，通用性强。 - 不能进行超高分辨率的观测及1 nm 以下的高精度测量。 - 不能获取没有照射到激光的样本侧面（ 壁面）等的信息。 - 不能测量吸收激光光源波长的材质。 款式检测的皮秒激光显微体系是能能同一时间选择深原点规格的检测与二维检测的的检测、检测的机器设备。没受样品长宽比和才质的约束，并能能在恒温的坏境下选择检测，操控简单便捷且可如磁学显微镜观察般选择。需对样品选择预办理，还能选择黑白检测，能能精准的进行分析出制定目标男朋友的的情形。还能检测明亮体的膜外观、膜内控和背后，并检测的膜款式的规格。 与SEM 和AFM 相对比较应用更佳便利，但检测功率和估测识别率较低。另一，谈谈高宽相对比较高的边侧或方向角越大的斜面，激光手术光反射无非重返，故而不进行检测、估测。
