图形测量方法激光机器显微软件系统 VK-X3000 系列产品

检测的头 VK-X3050

VK-X3050 - 测量头

*请要留意，图片搜索中的零件机会不主要包括在好产品中。

规格

产品型号		VK-X3050
类型的		在线测量头
综合性倍数		welcome购彩大厅用户注册 :42 至 28800 倍^*1
面前的范围		11 至 7398 μm
自动测量方式		缴光共准确把握、准确把握影响、白光灯干预仪、分光干预仪
脉冲激光LED光源光波长		光电器件智能机械 661 nm
比较高脉冲光估测快速		welcome购彩大厅用户注册 :面：125 Hz、线：7900 Hz^*2
激光束最主要转换		0.9 mW
脉冲光品级		2 类二氧化碳激光厂品（GB7247.1）
二氧化碳激光受光组件		16 bit 红外感应光电技术持续增长器
暗红色光线		灰白色 LED
纯白色光受光器件		混凝土泵送精微彩色的 CMOS
激光束共集中	间距呈现判断率	1 nm
	高宽比反复精密度 σ	10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：20 nm
	极高更准性	welcome购彩大厅用户注册 :0.2+L/100 μm 以下^*3
	间距彰显判别率	1 nm
	间距多次重复表面粗糙度 3σ	10 倍：400 nm、20 倍：100 nm、50 倍：50 nm
	：宽度准确无误性	welcome购彩大厅用户注册 :测量值 ±2% 以内^*3
集聚发展	较高表现辩别率	1 nm
	宽度相同表面粗糙度 σ	5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、 20 倍：50 nm、50 倍：30 nm
	高宽比正确性	welcome购彩大厅用户注册 :0.2+L/100 μm 以下^*3
	间距彰显区分率	1 nm
	厚度重叠gps精度 3σ	5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、 50 倍：65 nm
	屏幕宽度匹配最准性	welcome购彩大厅用户注册 :测量值 ±2% 以内^*3
白灯干预	的高度显视粪便率	0.01 nm
	净宽显视辨别率	0.1 nm
	Surface Topography Repeatability	welcome购彩大厅用户注册 :0.08 nm^*4
	Repeatability of RMS	welcome购彩大厅用户注册 :0.008 nm^*4
分光干涉现象膜厚在测量	重新高精准度 σ	welcome购彩大厅用户注册 :0.1 nm^*4
	精确度性	welcome购彩大厅用户注册 :±0.6%^*4
光学玻璃观擦	清晰度数	560 万
	转型器	6 孔電動长焦转型器
	支持于圆形照明灯的镜头时	2.5 倍、5 倍、10 倍
	光电技术对焦	1 至 8 倍
XY 载物台型式	带有大量手动程序运行区间	70 × 70 mm
	直流电动运营面积	100 × 100 mm
开关电源	电源模块输出功率	100 至 240 VAC、50/60 Hz
	耗损马力	150 VA
生态环境抗适应力	氛围温度表	+15 至 28°C
	比温度	20 至 80% RH（无缓凝）
单重		约 13 kg
^1 23 寸显示器画面上的倍率（全屏显示时） ^2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中，取最快的一组组合时。线扫描的情况下，测量间距小于 0.1 μm 时。 ^3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时 ^4 基恩士规定测量环境下的代表值。

系统品种(PDF) 许多款型

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