图形测量方法激光机器显微软件系统
VK-X3000 系列产品
检测的头 VK-X3050
规格
产品型号 | VK-X3050 | |||
类型的 | 在线测量头 | |||
综合性倍数 | welcome购彩大厅用户注册 :42 至 28800 倍*1 | |||
面前的范围 | 11 至 7398 μm | |||
自动测量方式 | 缴光共准确把握、准确把握影响、白光灯干预仪、分光干预仪 | |||
脉冲激光LED光源光波长 | 光电器件智能机械 661 nm | |||
比较高脉冲光估测快速 | welcome购彩大厅用户注册 :面 :125 Hz、线 :7900 Hz*2 | |||
激光束最主要转换 | 0.9 mW | |||
脉冲光品级 | 2 类二氧化碳激光厂品(GB7247.1) | |||
二氧化碳激光受光组件 | 16 bit 红外感应光电技术持续增长器 | |||
暗红色光线 | 灰白色 LED | |||
纯白色光受光器件 | 混凝土泵送精微彩色的 CMOS | |||
激光束共集中 | 间距呈现判断率 | 1 nm | ||
高宽比反复精密度 σ | 10 倍 :100 nm、20 倍 :40 nm、50 倍 :20 nm | |||
极高更准性 | welcome购彩大厅用户注册 :0.2+L/100 μm 以下*3 | |||
间距彰显判别率 | 1 nm | |||
间距多次重复表面粗糙度 3σ | 10 倍 :400 nm、20 倍 :100 nm、50 倍 :50 nm | |||
:宽度准确无误性 | welcome购彩大厅用户注册 :测量值 ±2% 以内*3 | |||
集聚发展 | 较高表现辩别率 | 1 nm | ||
宽度相同表面粗糙度 σ | 5 倍 :500 nm、10 倍 :100 nm、 | |||
高宽比正确性 | welcome购彩大厅用户注册 :0.2+L/100 μm 以下*3 | |||
间距彰显区分率 | 1 nm | |||
厚度重叠gps精度 3σ | 5 倍 :400 nm、10 倍 :400 nm、20 倍 :120 nm、 | |||
屏幕宽度匹配最准性 | welcome购彩大厅用户注册 :测量值 ±2% 以内*3 | |||
白灯干预 | 的高度显视粪便率 | 0.01 nm | ||
净宽显视辨别率 | 0.1 nm | |||
Surface Topography Repeatability | welcome购彩大厅用户注册 :0.08 nm*4 | |||
Repeatability of RMS | welcome购彩大厅用户注册 :0.008 nm*4 | |||
分光干涉现象膜厚在测量 | 重新高精准度 σ | welcome购彩大厅用户注册 :0.1 nm*4 | ||
精确度性 | welcome购彩大厅用户注册 :±0.6%*4 | |||
光学玻璃观擦 | 清晰度数 | 560 万 | ||
转型器 | 6 孔電動长焦转型器 | |||
支持于圆形照明灯的镜头时 | 2.5 倍、5 倍、10 倍 | |||
光电技术对焦 | 1 至 8 倍 | |||
XY 载物台型式 | 带有大量手动程序运行区间 | 70 × 70 mm | ||
直流电动运营面积 | 100 × 100 mm | |||
开关电源 | 电源模块输出功率 | 100 至 240 VAC、50/60 Hz | ||
耗损马力 | 150 VA | |||
生态环境抗适应力 | 氛围温度表 | +15 至 28°C | ||
比温度 | 20 至 80% RH(无缓凝) | |||
单重 | 约 13 kg | |||
*1 23 寸显示器画面上的倍率(全屏显示时) |