低倍（大视野）: 10 mm
高倍（高分辨率）: 1 mm

低倍（大视野）: 50 mm
高倍（高分辨率）: 30 mm

0.4 μm ^*1

1.0 μm ^*1

±2.5 μm ^*1

±4.0 μm ^*1

低倍（大视野）: 1 μm
高倍（高分辨率）: 0.5 μm
^*1

低倍（大视野）: ±5 μm
高倍（高分辨率）: ±2 μm
^*1

VR-6200: 全自动测量（XY 自动控制+Z 自动控制、θ 自动控制）、自动创建MAP 图像、自动设定区域 ^*2
VR-6100: 手动测量（XY 手动移动+Z 自动控制） ^*2

VR-6200: 支持 ^*2
VR-6100: 不支持

VR-6200: 300 × 150 mm ^*2
VR-6100: 92 × 86 mm ^*2

VR-6200: 278 × 134 mm（电动）
VR-6100: 70 × 70 mm（手动）