^*1 直径80 mm 的范围内，焦点位置的工作环境温度是+23±1 ℃时。
^*2 180 mm×180 mm （4 角R40）范围内，焦点位置的工作环境温度是+23±1 ℃，平台承载重量是2 kg 以下时。L 是平台的移动量(mm)
^*3 直径20 mm 的范围内，焦点位置的工作环境温度是+23±1 ℃时。
^*4 120 mm×120 mm 的范围内，焦点位置的工作环境温度是+23±1 ℃，平台承载重量是2 kg 以下时。L 是平台的移动量(mm)
^*5 L118 mm×φ60 mm 的范围。在对焦状态下，把测量对象放到镜头视野中心，测量对象的轴方向朝向镜头视野水平方向时。工作环境温度是＋ 23±1 ℃，D 是Y 方向距离（mm）
^*6 L106 mm×φ20 mm 的范围。在对焦状态下，把测量对象放到镜头视野中心，测量对象的轴方向朝向镜头视野水平方向时。工作环境温度是＋ 23±1 ℃，D 是Y 方向距离（mm）
^*7 XY 平台移动速度80 mm/s 时，是＋ 15 ～ 35 ℃