测试头 使用色彩激光束 LM-X100L

LM-X100L - 测量头 搭载彩色激光

*请要注意,商品图片中的陪件可能不具有在设备中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

款型LM-X100L
型号侧量头
视频拍摄元器件1 型 2000 万分辨率 黑白两色CMOS
受光摄像头双远心单反镜头
形象测试视线中广视觉检测机制325 mm × 175 mm
高gps精度測量形式306 mm × 156 mm
最短屏幕上显示单位名称0.1 μm
多个gps精度眼光内(2σ)广眼光估测形式±0.5 μm
高表面粗糙度检测的机制±0.1 μm
有座标台位移X/Y 轴±0.9 μm
XY 三视图
测试精准度视角内(2σ)广视线测量方法策略

±2 μm *1

高精密度较衡量模式英文

±0.7 μm *2

有座标台移動X/Y 轴(EUX,MPE、EUY,MPE)

±(1.8 + 0.02 L)μm *3

XY 品面(EUXY , MPE)

±(2.8 + 0.02 L)μm *3

AF 相对高度测试多次重复精密度±2 μm
校正精密度(EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L)μm *4

脉冲激光宽度测定可衡量条件(XY)239 mm × 146 mm
最大提示院校0.1 μm
重覆要求

±0.6 μm *5

测试要求(EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L)μm *4

光点直径不低于ø50 μm
智能机械等級Class 1
其他智能遥控手机输入无电压降放入(有接头/ 无接头)
外部结构的输出OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS 输出
额定负载24 VDC、0.5 A
ON 电阻 50 mΩ 以下

照明系统化系统化通过墨绿色LED 远心经过灯具
落射

彩色LED、白色LED 4 分割多角度照明(电动)
绿色LED 缝隙环状(指向性)侧射照明(电动)
白色LED 远心同轴照明

第三方采光调整光量操控PWM 掌控 100 kHz
打出电阻值12 VDC
内容输出直流电1.6 A(比较大)
XY 座标台手机使用范围

300 mm × 150 mm
(电动)

经受负重跑步7 kg
Z 座标台移動范围之内75 mm(電動)
电压开关电源额定电压100 至240 VAC ±10%(50/60 Hz)
所耗瓦数150 VA 接下来
条件抗耐心生态温湿度

+10 至35° C *6

对于对环境湿度的20 至80%RH(无疑固)
过电阻值类属
环境污染级别为2
克重约34 kg

*1 在20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C 时
*2 在5 mm × 5 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C 时
*3 参考ISO10360-7,于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C、座标台载重2 kg 以下时,L 为XY 座标台移动量(mm)
*4 参考ISO10360-7,面- 点高度、使用环境温度+23±1° C、测量目标物的最大高度设定在50 mm 以下时,L 为Z 座标台移动量(mm)
*5 使用环境温度为+23±1° C 时测量基恩士标准目标物
*6 XY 座标台移动速度80 mm/s 时为+15 至35° C

方法技术参数(PDF) 任何规格型号