全重新摄像测量方法仪
LM-X 题材
测试头 使用色彩激光束 LM-X100L
规格
款型 | LM-X100L | |||
型号 | 侧量头 | |||
视频拍摄元器件 | 1 型 2000 万分辨率 黑白两色CMOS | |||
受光摄像头 | 双远心单反镜头 | |||
形象测试 | 视线中 | 广视觉检测机制 | 325 mm × 175 mm | |
高gps精度測量形式 | 306 mm × 156 mm | |||
最短屏幕上显示单位名称 | 0.1 μm | |||
多个gps精度 | 眼光内(2σ) | 广眼光估测形式 | ±0.5 μm | |
高表面粗糙度检测的机制 | ±0.1 μm | |||
有座标台位移 | X/Y 轴 | ±0.9 μm | ||
XY 三视图 | ||||
测试精准度 | 视角内(2σ) | 广视线测量方法策略 | ±2 μm *1 | |
高精密度较衡量模式英文 | ±0.7 μm *2 | |||
有座标台移動 | X/Y 轴(EUX,MPE、EUY,MPE) | ±(1.8 + 0.02 L)μm *3 | ||
XY 品面(EUXY , MPE) | ±(2.8 + 0.02 L)μm *3 | |||
AF 相对高度测试 | 多次重复精密度 | ±2 μm | ||
校正精密度(EUZ,MPE) | ±(4.8 + 0.04 L)μm *4 | |||
脉冲激光宽度测定 | 可衡量条件(XY) | 239 mm × 146 mm | ||
最大提示院校 | 0.1 μm | |||
重覆要求 | ±0.6 μm *5 | |||
测试要求(EUZ,MPE) | ±(4.8 + 0.04 L)μm *4 | |||
光点直径不低于 | ø50 μm | |||
智能机械等級 | Class 1 | |||
其他智能遥控手机输入 | 无电压降放入(有接头/ 无接头) | |||
外部结构的输出 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS 输出 | ||
照明系统化系统化 | 通过 | 墨绿色LED 远心经过灯具 | ||
落射 | 彩色LED、白色LED 4 分割多角度照明(电动) | |||
第三方采光调整 | 光量操控 | PWM 掌控 100 kHz | ||
打出电阻值 | 12 VDC | |||
内容输出直流电 | 1.6 A(比较大) | |||
XY 座标台 | 手机使用范围 | 300 mm × 150 mm | ||
经受负重跑步 | 7 kg | |||
Z 座标台 | 移動范围之内 | 75 mm(電動) | ||
电压 | 开关电源额定电压 | 100 至240 VAC ±10%(50/60 Hz) | ||
所耗瓦数 | 150 VA 接下来 | |||
条件抗耐心 | 生态温湿度 | +10 至35° C *6 | ||
对于对环境湿度的 | 20 至80%RH(无疑固) | |||
过电阻值类属 | Ⅱ | |||
环境污染级别为 | 2 | |||
克重 | 约34 kg | |||
*1 在20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C 时 |