全全自动化操作印象测量方法仪
LM-X 系类
检测的头 配置触及温度探头 LM-X100T
规格
| 产品型号 | LM-X100T | |||
| 类 | 在测量头 | |||
| 外景拍摄电气元件 | 1 型 2000 万分辨率 黑是白CMOS | |||
| 受光广角镜头 | 双远心广角镜头 | |||
| 图案在测量 | 生理盲点 | 广观景视野精确测量基本模式 | 325 mm × 175 mm | |
| 高要求在测量方式 | 306 mm × 156 mm | |||
| 至少呈现标准 | 0.1 μm | |||
| 再次可靠性强，精密度 | 视域内(2σ) | 广视角量测玩法 | ±0.5 μm | |
| 高导致精度校正机制 | ±0.1 μm | |||
| 有座标台转动 | X/Y 轴 | ±0.9 μm | ||
| XY 立体图 | ||||
| 衡量计算精度 | 角度内(2σ) | 广面前在线测量策略 | ±2 μm *1 | |
| 高高精准度量测摸式 | ±0.7 μm *2 | |||
| 有座标台移动手机 | X/Y 轴(EUX,MPE、EUY,MPE) | ±（1.8 + 0.02 L）μm *3 | ||
| XY 立体(EUXY , MPE) | ±（2.8 + 0.02 L）μm *3 | |||
| AF 特别侧量 | 去重复准确度 | ±2 μm | ||
| 侧量准确度（EUZ,MPE） | ±（4.8 + 0.04 L）μm *4 | |||
| 接触性红外探头量测 | 可衡量时间范围（XY） | 248 mm × 141 mm | ||
| 测定力 | 0.015 N *5 | |||
| 至少表明企事业单位 | 0.1 μm | |||
| 多次精确度 | X/Y 轴 | ±1.4 μm | ||
| XY 正等轴测图 | ||||
| Z 轴 | ||||
| 测定精密度 | X/Y 轴（EUX,MPE EUY,MPE） | ±（2.8 + 0.02 L）μm *6 | ||
| XY 平米（EUXY,MPE） | ±（3.8 + 0.02 L）μm *6 | |||
| Z 轴（EUZ,MPE） | ±（4.8 + 0.04 L）μm *4 | |||
| 外观控制手机输入 | 无端电压输人（有触头/ 无触头） | |||
| 外接输出的 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS 输出 | ||
| 光照体系 | 透射 | 浅绿色LED 远心互动交流照明灯 | ||
| 落射 | 彩色LED、白色LED 4 分割多角度照明（电动） | |||
| 间接照明工程调整 | 光量操作 | PWM 抑制 100 kHz | ||
| 伤害工作电压 | 12 VDC | |||
| 传输电流量 | 1.6 A（很大） | |||
| XY 座标台 | 移动式区域 | 300 mm × 150 mm | ||
| 承载负重深蹲 | 7 kg | |||
| Z 座标台 | 手机条件 | 75 mm（电动四轮） | ||
| 电源线 | 外接电源电压值 | 100 至240 VAC ±10％（50/60 Hz） | ||
| 耗用电机功率 | 150 VA 以上 | |||
| 坏境抗意志力 | 环镜湿度 | +10 至35° C *7 | ||
| 相对的室内温度 | 20 至80%RH（无疑固） | |||
| 过压值类 | Ⅱ | |||
| 污染问题登级 | 2 | |||
| 称重 | 约34 kg | |||
*1 在20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C 时 | ||||
