全自功式数字影像测定仪
LM-X 型号
在测量头 造出多彩二氧化碳激光/ 接触到摄像头 LM-X100TL
规格
| 规格 | LM-X100TL | |||
| 分类 | 校正头 | |||
| 拍色组件 | 1 型 2000 万图片分辨率 灰白CMOS | |||
| 受光动作 | 双远心定焦 | |||
| 影像在线测量 | 视域 | 广视线中测试状态 | 325 mm × 175 mm | |
| 高导致精度预估形式 | 306 mm × 156 mm | |||
| 最高界面显示企业单位 | 0.1 μm | |||
| 重叠准确度 | 视线中内(2σ) | 广视觉检测的模式切换 | ±0.5 μm | |
| 高精确度衡量模试 | ±0.1 μm | |||
| 有座标台中国电信 | X/Y 轴 | ±0.9 μm | ||
| XY 品面 | ||||
| 量测表面粗糙度 | 世界内(2σ) | 广视域量测的模式 | ±2 μm *1 | |
| 高准确度在测量模式， | ±0.7 μm *2 | |||
| 有座标台移動 | X/Y 轴(EUX,MPE、EUY,MPE) | ±（1.8 + 0.02 L）μm *3 | ||
| XY 空间图形(EUXY , MPE) | ±（2.8 + 0.02 L）μm *3 | |||
| AF 宽度测定 | 重叠定位精度 | ±2 μm | ||
| 在测量准确度（EUZ,MPE） | ±（4.8 + 0.04 L）μm *4 | |||
| 二氧化碳激光极高衡量 | 可在测量标准（XY） | 239 mm × 146 mm | ||
| 面值最小提示政府部门 | 0.1 μm | |||
| 反复可靠性强，精密度 | ±0.6 μm *5 | |||
| 測量高精准度（EUZ,MPE） | ±（4.8 + 0.04 L）μm *4 | |||
| 光点内径 | ø50 μm | |||
| 机光级别为 | Class 1 | |||
| 触及感应器检测 | 可预估条件（XY） | 248 mm × 141 mm | ||
| 衡量力 | 0.015 N *6 | |||
| 轻柔的体现机关单位 | 0.1 μm | |||
| 重覆表面粗糙度 | X/Y 轴 | ±1.4 μm | ||
| XY 正等轴测图 | ||||
| Z 轴 | ||||
| 估测的精密度 | X/Y 轴（EUX,MPE EUY,MPE） | ±（2.8 + 0.02 L）μm *7 | ||
| XY 平面设计（EUXY,MPE） | ±（3.8 + 0.02 L）μm *7 | |||
| Z 轴（EUZ,MPE） | ±（4.8 + 0.04 L）μm *4 | |||
| 冗余摇控器放入 | 无直流电压键入（有常闭触点/ 无常闭触点） | |||
| 外界打印输出 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS 输出 | ||
| 照明装置装置 | 穿透 | 黄绿色LED 远心经过灯光 | ||
| 落射 | 彩色LED、白色LED 4 分割多角度照明（电动） | |||
| 异常照明灯操控 | 光量操纵 | PWM 抑制 100 kHz | ||
| 输入电流值 | 12 VDC | |||
| 输入电流值 | 1.6 A（非常大） | |||
| XY 座标台 | 移动式比率 | 300 mm × 150 mm | ||
| 顶住重量 | 7 kg | |||
| Z 座标台 | 中国电信面积 | 75 mm（电动式） | ||
| 电源适配器 | 供电直流电压 | 100 至240 VAC ±10％（50/60 Hz） | ||
| 耗用电机功率 | 150 VA 下列 | |||
| 生活环境抗忍耐力 | 生态环境气温 | +10 至35° C *8 | ||
| 对于干湿度 | 20 至80%RH（无结晶） | |||
| 过电流种类 | Ⅱ | |||
| 环境污染层级 | 2 | |||
| 重 | 约35 kg | |||
*1 在20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C 时 | ||||
