产品的应用 小型调节器头型分光干扰式 机光位移计 SI-F 题材

SI-F 系列微型传感头型分光干涉式激光位移计应用

在系统工控设备选用和感应器选用中表面出色的表面。

测量晶片厚度

超小型调节器头可以用于在线测量硅晶片等精密加工食品的机的薄厚和翘曲度。
  • [优点] 超高分辨率
    0.25 μm 的分辨率
  • 多功能控制器
    算术运算电路将测量数据即时转换为厚度
  • 不发热
    传感头中没有电子部件，不会产生热量

测量复印机中的辊的动作

小形感知头可以使用于测量方法打印机等精密铸造机制中的哪几个主件的过程。
  • [优点] ø2 mm 微型传感头
    无需预留安装位置
  • 最高可承受 85°C
    即使紧靠发热的机身也能进行测量
  • 5 kHz 高速采样
    即使是高速工件也可安全地测量

定位高精度载物台

徽型感知头能用的 于检侧载物台变慢的职位，因为可将其实值与参考资料值的差值回访给一些环保设备。
  • [优点] 10 mm 以上的设定距离
    无碰撞危险
  • 最多 6 轴同时测量
    实现无时间误差的多轴控制
  • ø8 mm 小型传感头
    无需预留安装位置

高精度测量辊的偏转

微传感器头可以用在于预估方法各项条件正确预估方法的辊（举例胶辊）的偏转。
  • [优点] 对工件无伤害
    非接触测量方式避免损伤工件
  • 直接表示偏转度
    控制器即时算出并显示偏转度
  • 5 kHz 高速采样
    可紧跟高速旋转的工件

测量曝光掩模的间隙

微感测器头能够用于精确测量爆光掩模和的玻璃的基板的油隙。
  • [优点] 80 mm 的设定距离
    即使掩模较厚亦可安装微型传感头
  • ø12 mm 小型传感头
    无需预留安装位置
  • 不发热
    传感头中没有电子部件，不会产生热量

测量玻璃盘的厚度

微形感测器头能作于检测玻离盘等光学材料透明度正方体的体积尺寸。
  • [优点] 超高分辨率
    0.25 μm 的分辨率
  • 5 kHz 高速采样
    可测量高速旋转的工件的厚度
  • 最多 6 轴同时测量
    实现无时间误差的多轴控制