形态衡量智能机械显微软件
VK-X 系例
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保持器 VK-X120K
规格
材质 | VK-X120K | |||
整合功率 | 19200 倍以下*1 | |||
面前 (至少仔细观察面积) | 16 µm 至 5400 µm | |||
帧工作频率 | 激光器估测时速 | 4 至120 Hz、7,900 Hz*2 | ||
在线测量方式 | 光学仪器整体 | 针孔共对焦电子光学机系统 | ||
光吸收组件 | 光电产品培增器、16 bit 感性 | |||
检测手段 (常规检查测试时及形象连结时) | 自己上下两边限快速设置用途 极速光量最好化用途(AAG Ⅱ)反射层光量不充足补点用途(双测试) | |||
髙度预估 | 界面显示辨别好坏率 | 5 nm | ||
直线表尺 | ||||
动态图满量程 (产于轴类零件的光考虑量的符合波幅) | 16 bit | |||
反复重复精度等级σ | 20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 | |||
Z轴測量用电脑内存 | 140 万进行 | |||
完整性性 | 0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4 | |||
Z 载物台设计 | 组成部分 | 精确测量头分離框架 | ||
明显合格品高 | 28 mm, 128 mm (能选件) | |||
高度精确测量 | 体现鉴别率 | 10 nm | ||
多次重复的精密度3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 | |||
更准确率 | ±2%*5 | |||
XY 载物台框架 | 自动改手动 运营区域 | 70 mm×70 mm | ||
電動 电脑运行的范围 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6 | |||
观察动物 | 洞察分析形象 | 超高精细彩色CCD 图像 | ||
很大拍摄视频分析一下率 | 3072×2304 | |||
测量方法用皮秒激光LED光源 | 激发光谱 | 粉红色半导智能机械 658 nm | ||
主要输送 | 0.95 mW | |||
脉冲光食品 | 2 类机光的产品 (GB7247.1) | |||
重量体积 | 测定部 | 约25 kg(分割时侧量头竞聚率: 约8.5 kg) | ||
把握器部 | 约 11 kg | |||
*1 23 英寸显示器记载。 |