形态衡量智能机械显微软件 VK-X 系例

本型号已停产。
产品符合从我司发货时的认证标准。

保持器 VK-X120K

VK-X120K - 控制器

*请还要注意,视频中的硬件应该不还有在产品研发设备中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

材质VK-X120K
整合功率

19200 倍以下*1

面前 (至少仔细观察面积)16 µm 至 5400 µm
帧工作频率激光器估测时速

4 至120 Hz、7,900 Hz*2

在线测量方式光学仪器整体针孔共对焦电子光学机系统
光吸收组件光电产品培增器、16 bit 感性
检测手段 (常规检查测试时及形象连结时)自己上下两边限快速设置用途 极速光量最好化用途(AAG Ⅱ)反射层光量不充足补点用途(双测试)
髙度预估界面显示辨别好坏率5 nm
直线表尺
动态图满量程 (产于轴类零件的光考虑量的符合波幅)16 bit
反复重复精度等级σ

20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3

Z轴測量用电脑内存140 万进行
完整性性

0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4

Z 载物台设计组成部分精确测量头分離框架
明显合格品高28 mm, 128 mm (能选件)
高度精确测量体现鉴别率10 nm
多次重复的精密度3σ

20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3

更准确率

±2%*5

XY 载物台框架自动改手动 运营区域70 mm×70 mm
電動 电脑运行的范围

50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6

观察动物洞察分析形象

超高精细彩色CCD 图像
16 bit 激光彩色共焦点图像
共焦点+ ND 滤波器光学系统
C- 激光微分干涉图像

很大拍摄视频分析一下率3072×2304
测量方法用皮秒激光LED光源激发光谱粉红色半导智能机械 658 nm
主要输送0.95 mW
脉冲光食品2 类机光的产品 (GB7247.1)
重量体积测定部约25 kg(分割时侧量头竞聚率: 约8.5 kg)
把握器部约 11 kg

*1 23 英寸显示器记载。
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
*3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。
*4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。
*5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。
*6 安装电动载物台时。

技术应用产品规格(PDF) 其他尺寸