在测量部 VK-X130K

VK-X130K - 测量部

*提醒力，厂品图片中的配件价格也许不是指在厂品中。

规格

形号		VK-X130K
网络综合功率		19200 倍以下^*1
视角 (很小考察区间)		16 µm 至 5400 µm
帧工作频率	皮秒激光预估线速度	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
量测目的	磁学装置	针孔共集聚光纤激光切割机的模式
	光接受到组件	光电公司净增器、16 bit 感应开关
	复印机扫描途径 (常规化测试时及形象链接时)	电脑自动上下两边限设计的功效飞速光量适宜化的功效(AAG Ⅱ)反射面光量严重不足补点的功效(双复印机扫描)
位置检测	体现辨别率	5 nm
	线形表尺
	最新示值 (来源工件产品的光接收到量的适宜上升时间)	16 bit
	再次精密度较σ	20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm^*3
	Z轴估测用4g内存	140 万操作步骤
	最可信性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台构造	的结构	估测头破乳结构的
	很大合格品长度	28 mm, 128 mm (可供选择件)
：宽度校正	显示信息分别率	10 nm
	重叠可靠性强，精密度3σ	20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm^*3
	更准性	±2％^*5
XY 载物台结构类型	全自动进行范畴	70 mm×70 mm
	电动伸缩运动范围之内	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
通过观察	考察图像文件	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	较大拍摄视频浅析率	3072×2304
检测用智能机械led灯光	光谱	橘红色半导体材料激光机器 658 nm
	主要输出电压	0.95 mW
	脉冲激光产品的	2 类激光机器服务 (GB7247.1)
重量体积	在线测量部	约25 kg(分离出来时衡量头竞聚率: 约8.5 kg)
	调节器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

能力尺寸(PDF) 的形号

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