保持器 VK-X150K

VK-X150K - 控制器

*请重视，全部图片中的陪件几率不具有产品成本设备中。

规格

机型		VK-X150K
综合性倍数		19200 倍以下^*1
眼光 (最低通过观察位置)		16 µm 至 5400 µm
帧平率	激光器校正速度快	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
侧量原理图	电子光学体统	针孔共瞄准光学仪器系统
	光考虑pcb板	光电产品飙升器、16 bit 感应开关
	复印方式方法 (传统预估时及图案接入时)	自动化升降限设制基本性能键极速光量较好化基本性能键(AAG Ⅱ)反射强度光量欠佳及时补充基本性能键(双阅读)
高速校正	体现辨认率	5 nm
	直线尺标
	静态分度值 (原于镗孔的光读取量的采用高难度技巧)	16 bit
	按顺序精准度σ	20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm^*3
	Z轴自动测量用内存空间	140 万进行
	精准的性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台结构的	型式	量测头提取构成
	极大样板超高	28 mm, 128 mm (必选件)
高度预估	提示分辩率	10 nm
	多次精确度3σ	20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm^*3
	准确度性	±2％^*5
XY 载物台设备构造	一键电脑运行范畴	70 mm×70 mm
	电动式执行位置	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
观察动物	观察分析图相	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	很大拍摄制作概述率	3072×2304
检测用离子束点光源	光谱	桔红色半导体设备激光束 658 nm
	大工作输出	0.95 mW
	脉冲激光物料	2 类二氧化碳激光企业产品 (GB7247.1)
净重	预估部	约25 kg(隔离时测定头聚己内酯: 约8.5 kg)
	操控器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

技术性金桥铜业跨接线的截面积大小(PDF) 某些型號

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