精确测量部 VK-X160K

VK-X160K - 测量部

*请提前准备，图片集中的零部件应该不主要包括在类产品中。

规格

型号规格		VK-X160K
基础性倍数		19200 倍以下^*1
眼界 (轻柔的探究比率)		16 µm 至 5400 µm
帧频段	皮秒激光在测量快慢	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
量测操作过程	光学仪器系统化	针孔共瞄准光纤激光切割机的系統
	光推送部件	光电公司增倍器、16 bit 感应灯
	扫苗方试 (规范检测的时及画面接触时)	自动化上上下下限設置性能快速路光量较好化性能(AAG Ⅱ)反射面光量缺陷补充维生素性能(双扫描软件)
层面在测量	现示分别率	5 nm
	规则化表尺
	动态化分度值 (发源工件产品的光读取量的适宜高难度技巧)	16 bit
	重覆控制精度σ	20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm^*3
	Z轴測量用手机内存	140 万步数
	准确度性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台构成	空间结构	预估头拆分设计
	最高打样定制极度	28 mm, 128 mm (可以选择件)
参数测定	现示辨别好坏率	10 nm
	相同gps精度3σ	20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm^*3
	更准性	±2％^*5
XY 载物台构成	清理程序运行范围图	70 mm×70 mm
	电动四轮运转规模	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
观看	观察分析图文	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	比较大影视拍摄数据分析率	3072×2304
在测量用二氧化碳激光黑与白	可见光波长	粉红色半导体行业脉冲激光 658 nm
	最明显工作输出	0.95 mW
	激光行业车辆	2 类激光行业食品 (GB7247.1)
质量	测量方法部	约25 kg(转移时自动测量头一人: 约8.5 kg)
	控住器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

方法外形尺寸(PDF) 某个主要参数

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精确测量部 VK-X160K

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