测定部 VK-X260K

VK-X260K - 测量部

*请主意，小图片中的耗材部件已经不收录在服务中。

规格

形号		VK-X260K
綜合系数		28000 倍以下^*1
视线 (不大关注领域)		11 µm 至 5400 µm
帧频次	激光机器估测高速度	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
预估原理图	光纤激光切割机的控制系统	针孔共凝焦光电器件体统
	光阅读部件	光电产品增倍器、16 bit 感应式
	扫描仪方试 (常規在测量时及图像文件对接时)	手动左右两限放置功用表公路光量佳化功用表(AAG Ⅱ)条件被反射的光量不充分摄入功用表(双打印机扫描)
间距在测量	凸显甄别率	0.5 nm
	线形标尺刻度
	动态图片量限 (存在工件的的光推送量的实用升幅)	16 bit
	反复高精准度σ	20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm^*3
	Z轴測量用內存	1400 万步凑
	明确性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台空间结构	格局	测定头分离出来空间结构
	最大程度印刷品位置	28 mm, 128 mm (可供选择件)
屏幕宽度匹配量测	表示辩认率	1 nm
	连续误差3σ	20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm^*3
	精确性	±2％^*5
XY 载物台的结构	一键加载比率	70 mm×70 mm
	電動正常运作范畴	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
留意	观看图形	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	大摄影研究率	3072×2304
检测的用脉冲激光黑与白	光的波长	紫二氧化碳激光 408 nm
	最大化读取	0.95 mW
	脉冲光设备	2 类二氧化碳激光软件 (GB7247.1)
含量	在测量部	约26 kg(溶合时测试头聚合物: 约10 kg)
	管理器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

方法品种(PDF) 许多款型

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测定部 VK-X260K

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