图行预估缴光显微系统的
VK-X 系列作品
取得联系你们: 4008-215-686 想法表
的控器 VK-X120K
规格
| 主要参数 | VK-X120K | |||
| 全方位的功率 | 19200 倍以下*1 | |||
| 生理盲点 (最大看空间) | 16 µm 至 5400 µm | |||
| 帧頻率 | 激光器自动测量的速度 | 4 至120 Hz、7，900 Hz*2 | ||
| 测试操作过程 | 光学材料体统 | 针孔共准确把握电子光学机系统 | ||
| 光考虑开关元件 | 微电子持续增长器、16 bit 感应式 | |||
| 打印机扫描措施 (常规化检测的时及图像文件接连时) | 全自动内外限安装性能 公路光量合适化性能(AAG Ⅱ)折射光量过高补充维生素性能(双扫描仪扫描) | |||
| 层面测定 | 显示信息判断率 | 5 nm | ||
| 线性网络刻度 | ||||
| 新动态量限 (存在类件的光接受到量的适用于降幅) | 16 bit | |||
| 再次高精准度σ | 20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 | |||
| Z轴衡量用存储空间 | 140 万方法流程 | |||
| 更精确性 | 0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4 | |||
| Z 载物台结构特征 | 框架 | 精确测量头隔离机构 | ||
| 最主要原材料特别 | 28 mm, 128 mm (可以选择件) | |||
| 参数測量 | 呈现辨别好坏率 | 10 nm | ||
| 重覆定位精度3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 | |||
| 精确度性 | ±2％*5 | |||
| XY 载物台形式 | 手動 运营区域 | 70 mm×70 mm | ||
| 电动式 启动范围图 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6 | |||
| 观看 | 留意影像 | 超高精细彩色CCD 图像 | ||
| 很大拍好分析一下率 | 3072×2304 | |||
| 精确测量用二氧化碳激光光线 | 光谱 | 红半导体材料激光手术 658 nm | ||
| 较大 工作输出 | 0.95 mW | |||
| 激光束厂品 | 2 类激光束成品 (GB7247.1) | |||
| 体重 | 在线测量部 | 约25 kg(分離时自动测量头聚合物: 约8.5 kg) | ||
| 调节器部 | 约 11 kg | |||
*1 23 英寸显示器记载。 | ||||
