模样测试激光行业显微体统
VK-X 系列作品
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估测部 VK-X130K
规格
| 尺寸 | VK-X130K | |||
| 综合性倍数 | 19200 倍以下*1 | |||
| 世界 (最窄留意区间) | 16 µm 至 5400 µm | |||
| 帧頻率 | 脉冲光检测的快慢 | 4 至120 Hz、7，900 Hz*2 | ||
| 精确测量的工作原理 | 光学反应装置 | 针孔共自动对焦磁学软件系统 | ||
| 光吸收电子器件 | 光电子翻番器、16 bit 检测 | |||
| 扫描拍摄习惯 (正规测试时及图文相连接时) | 定时高低限设定模块 高光量最合适的化模块(AAG Ⅱ)光被反射的光量不充分补模块(双扫苗) | |||
| 髙度测量方法 | 呈现辨认率 | 5 nm | ||
| 线形刻度 | ||||
| 动态展示分度值 (产自钢件的光发送到量的适用于波动) | 16 bit | |||
| 重覆精度等级σ | 20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 | |||
| Z轴在线测量用存储空间 | 140 万步数 | |||
| 准确度性 | 0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4 | |||
| Z 载物台架构 | 架构 | 测定头分开成分 | ||
| 最明显备样髙度 | 28 mm, 128 mm (可选装件) | |||
| 长宽比衡量 | 屏幕上显示分辩率 | 10 nm | ||
| 重复使用精确3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 | |||
| 合理性 | ±2％*5 | |||
| XY 载物台架构 | 自功 运营标准 | 70 mm×70 mm | ||
| 电动伸缩 加载领域 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6 | |||
| 观察分析 | 观察分析图相 | 超高精细彩色CCD 图像 | ||
| 最大程度照相定性分析率 | 3072×2304 | |||
| 精确测量用二氧化碳激光面光源 | 主波长 | 大红色半导体器件脉冲激光 658 nm | ||
| 很大读取 | 0.95 mW | |||
| 缴光产品设备 | 2 类激光机器新产品 (GB7247.1) | |||
| 容量 | 估测部 | 约25 kg(分割时在线测量头模型: 约8.5 kg) | ||
| 把控好器部 | 约 11 kg | |||
*1 23 英寸显示器记载。 | ||||
