形式测定智能机械显微程序
VK-X 全系列
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设定器 VK-X150K
规格
| 款型 | VK-X150K | |||
| 综合管理功率 | 19200 倍以下*1 | |||
| 眼光 (面积最小检查区间) | 16 µm 至 5400 µm | |||
| 帧速度 | 激光行业校正网络速度 | 4 至120 Hz、7，900 Hz*2 | ||
| 衡量的原理 | 光学反应平台 | 针孔共瞄准光学材料系统软件 | ||
| 光传输元器件封装 | 光电产品飙升器、16 bit 感受到 | |||
| 复印机扫描具体方法 (正规估测时及图象连入时) | 自己高低限设有技能 极速光量较佳化技能(AAG Ⅱ)射线光量欠缺继续补充技能(双扫描拍摄) | |||
| 宽度测定 | 显示信息签别率 | 5 nm | ||
| 非线性表尺 | ||||
| 动态的量限 (存在工件产品的光考虑量的可用艺术) | 16 bit | |||
| 连续精密度σ | 20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 | |||
| Z轴检测用运存 | 140 万方法流程 | |||
| 准确度性 | 0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4 | |||
| Z 载物台成分 | 结构类型 | 精确测量头脱离机构 | ||
| 最大的合格品程度 | 28 mm, 128 mm (可以选择件) | |||
| 参数精确测量 | 显视签别率 | 10 nm | ||
| 重复使用要求3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 | |||
| 精确性性 | ±2％*5 | |||
| XY 载物台成分 | 自動 使用超范围 | 70 mm×70 mm | ||
| 智能 运营区域 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6 | |||
| 考察 | 观测图像文件 | 超高精细彩色CCD 图像 | ||
| 大摄影分析一下率 | 3072×2304 | |||
| 自动测量用脉冲激光泛光灯 | 主波长 | 色半导体材料缴光 658 nm | ||
| 明显输出电压 | 0.95 mW | |||
| 脉冲激光商品 | 2 类缴光成品 (GB7247.1) | |||
| 体重 | 估测部 | 约25 kg(分离处理时自动测量头加聚物: 约8.5 kg) | ||
| 管控器部 | 约 11 kg | |||
*1 23 英寸显示器记载。 | ||||
