形式衡量激光手术显微机系统
VK-X 一系列
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精确测量部 VK-X160K
规格
| 机型 | VK-X160K | |||
| 终合功率 | 19200 倍以下*1 | |||
| 观景视野 (世界最大仔细观察规模) | 16 µm 至 5400 µm | |||
| 帧的频率 | 脉冲激光衡量快速 | 4 至120 Hz、7，900 Hz*2 | ||
| 量测基本原理 | 光电系统 | 针孔共集中光电器件软件 | ||
| 光接受到部件 | 光电材料持续增长器、16 bit 磁感应 | |||
| 扫描仪策略 (普通量测时及形象联接时) | 自行升降限设施的功用 快速路光量更好化的功用(AAG Ⅱ)全光线量缺点补的功用(双扫描拍照) | |||
| 髙度精确测量 | 提示分辩率 | 5 nm | ||
| 曲线刻度 | ||||
| 动态图分度值 (来自五湖四海零件的光收到量的适于小幅度) | 16 bit | |||
| 去重复精度等级σ | 20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 | |||
| Z轴测量方法用电脑内存 | 140 万进行 | |||
| 最准性 | 0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4 | |||
| Z 载物台结构类型 | 格局 | 测量方法头分离法结构类型 | ||
| 比较大试品宽度 | 28 mm, 128 mm (能选件) | |||
| 参数测量方法 | 彰显鉴别率 | 10 nm | ||
| 反复计算精度3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 | |||
| 确切性 | ±2％*5 | |||
| XY 载物台结构的 | 自动改手动 工作依据 | 70 mm×70 mm | ||
| 电动伸缩 执行範圍 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6 | |||
| 看 | 通过观察数字图像 | 超高精细彩色CCD 图像 | ||
| 最高视频拍摄分析一下率 | 3072×2304 | |||
| 在线测量用激光手术光线 | 光谱 | 红色的半导体技术二氧化碳激光 658 nm | ||
| 最大程度所在 | 0.95 mW | |||
| 二氧化碳激光服务 | 2 类缴光软件 (GB7247.1) | |||
| 总重量 | 侧量部 | 约25 kg(分离出来时测量方法头加聚物: 约8.5 kg) | ||
| 操作器部 | 约 11 kg | |||
*1 23 英寸显示器记载。 | ||||
