衡量部 VK-X260K

VK-X260K - 测量部

*请留意，图片大全中的五金配件将会不主要包括在商品中。

规格

款型		VK-X260K
整体倍数		28000 倍以下^*1
视眼 (最短观擦范畴)		11 µm 至 5400 µm
帧频次	激光器校正快速	4 至120 Hz、7，900 Hz^*2
测量方法的基本原理	光学反应设计	针孔共整合光学薄膜系统的
	光推送部件	光電增长器、16 bit 检测
	扫描仪模式 (日常估测时及数字图像对接时)	自然横竖限安装特点绕城高速光量更好化特点(AAG Ⅱ)条件被反射的光量问题添加特点(双阅读)
超高测试	体现粪便率	0.5 nm
	波形表尺
	技术性量限 (出自工件产品的光考虑量的用于降幅)	16 bit
	重覆精密度σ	20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm^*3
	Z轴量测用运存	1400 万步数
	准确的性	0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)^*4
Z 载物台结构特征	构成	量测头分離的结构
	最主要检样角度	28 mm, 128 mm (供选择件)
宽预估	体现判断率	1 nm
	重覆精准度3σ	20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm^*3
	及时性性	±2％^*5
XY 载物台形式	手动挡自动运行位置	70 mm×70 mm
	直流电动自动运行范围图	50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*6
查看	看数字图像	超高精细彩色CCD 图像 16 bit 激光彩色共焦点图像共焦点+ ND 滤波器光学系统 C- 激光微分干涉图像
	最好外景拍摄研究率	3072×2304
精确测量用二氧化碳激光光线	光波波长	紫智能机械 408 nm
	最好工作输出	0.95 mW
	皮秒激光新产品	2 类激光束成品 (GB7247.1)
克重	在线测量部	约26 kg(脱离时测定头模型: 约10 kg)
	控住器部	约 11 kg
^1 23 英寸显示器记载。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。 ^4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。 ^5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。 ^6 安装电动载物台时。

能力尺寸(PDF) 某些类型

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衡量部 VK-X260K

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