^*1 上游侧压力如果为 0.2 MPa 或更低（标准型的过滤器/ 调节器调节压力为 0.2 MPa 或更低），则会使截止阀的流量特性变差。
^*2 该值的可信度在使用基恩士检测设施进行空气测试时有保证。错误将由气体类型、气体温度和环境温度等因素引起。
^*3 在恒定温度为 25° C、压缩空气纯度等级被评估为 1*1 级 (ISO 8573-1 (2010)/JIS B 8392-1 (2012)) 的环境中的值。当纯度等级为 3*4 级时，需 ±（RD 的 5.5% ＋ F.S. 的 0.5%）。
^*4 模拟输出响应时间增加 15 ms。
^*5 当至少 2% 的 F.S. 气体流动时可测量。
^*6 如果压缩空气中含有大量油雾、有机溶剂或其他气体，则可能无法达到规定的精度或者可能会损坏装置。（有关详细信息，请参阅第 4 页的“被测气体”。）
^*7 当流量为 F.S. 的 5% 或更高时。当流量过小时，会出现由主装置产生的热量引起的错误。
^*8 连接 MP-FEA1 和/ 或 MP-FEN1 时，添加每台设备的消耗电流（2.1 A 或 更低，包括负载电流）。
^*9 使用可提供 1.2 A 或更高电流的 IO-Link 主控装置。（连接 MP-FEA1 和 MP-FEN1 时为 1.6 A 或更低。）
IO-Link 是 PROFIBUS Nutzerorganisation e.V. (PNO) 的注册商标或商标。
^*10 当提供保护以防止灰尘和液体侵入排气口时。建立 USB 连接后，将失去 IP67 的外壳防护级。
^*11 如果本产品使用的电源电压为 26.4 V 或以上，环境温度的上限为 45° C。
^*12 尼龙仅用于 MP-Fx20R。