^*1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。
^*2 使用基恩士标准目标物，并测量单一矩形区域(*3)的平均高度 30 秒时的±3σ 值(自动修复OFF 时)。
^*3 矩形的尺寸为WI-001：0.3 × 0.9 mm，WI-004：1.1 × 3.7 mm，WI-010：3 × 9 mm。
^*4 使用基恩士标准目标物，并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差 30 秒时的σ 值(自动修复OFF 时，且拍摄时间为精确度优先时)。
^*5 使用基恩士标准目标物，并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差时的值(自动修复OFF 时，且拍摄时间为精确度优先时)。
^*6 拍摄时的工件停止时间为高速模式 120 ms，标准模式 240 ms。