抵触式同轴 3D 位移精确检测仪
WI-5000 产品
精确测量头 WI-010
规格
| 主要参数 | WI-010*1*2*3 | |||
| 分类相距 | 18 mm | |||
| 衡量的范围 | Z | 1.4 mm(条件模试)，0.7 mm(高速度模试) | ||
| XY | 10 × 10 mm | |||
| 最短判断领域 | 40 × 40 µm | |||
| 重叠精度等级(段差) | 0.1 µm*4 | |||
| 直曲线(段差) | ±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F.S.=1.4 mm，+20 至+30℃)*5 | |||
| 量测用照明 | 类型、 | 红外线SLD | ||
| 心中吸光度 | 830 nm | |||
| 激光器定义(IEC60825-1, GB7247.1) | 3R 类 | |||
| 输入 | 3.6 mW | |||
| 引流用线光源 | 多种类型 | 网红半导激光手术 | ||
| 可见光波长 | 660 nm | |||
| 脉冲激光归类(IEC60825-1, GB7247.1) | 1 类 | |||
| 输出精度 | 0.15 mW | |||
| 抽样时间段 | 室内引起 | 133 ms(公路的的模式)，266 ms(原则的的模式) | ||
| 表面捕获 | 最快 266 ms(高速模式)，最快 532 ms(标准模式)*6 | |||
| 区域抗抵抗能力 | 区域光照强度 | 节能灯管/荧光灯：5,000 lux 以下的 | ||
| 坏境温湿度 | 0 至 +35 °C | |||
| 相对于相对湿度 | 20 至 85 % RH (无疑固) | |||
| 权重 | 约 3000 g | |||
*1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。 | ||||
