分光干涉现象位移型四层膜厚測量仪 SI-T 系例

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调节器器头 很多层变位检测型 SI-T10

SI-T10 - 传感器头 多层变位测量型

*请准备,图片大全中的配件价格将会不涵盖在软件中。

软件

  • CE 标志概述

规格

规格型号

SI-T10*1

结构类型两层位移校正型 传感器头
分光标段SI-T10U
在测量条件 (弯折率n=1)0.01 到1.0 mm
学习路程

9 mm*2

检测的用led灯光红外SLD , 传输1 mW , 1 类皮秒激光品牌(IEC60825-1)
散射网套直径

ø30 µm*3

规则化度

±0.3 µm*4

判断率

0.01 µm (0.25 µm)*5*6

监测周期性1 ms
LED凸显要求紧邻量测机构:绿光。要求在量测比率内:橙光。要求在量测比率外:橙光一闪一闪。
工作环境抗耐心金属外壳加固级IP64
的环境阳光照射节能灯管、荧光灯:10000 lux 下例
工作外部温度因素0 到+40°C
相绝对湿度35 到85%RH(无冷凝器)
抗震烈度性

10 到55Hz,XYZ 方向上1.5 mm
双倍振幅,各2 小时

原料SUS304
总重量约 70g (含接线图)

*1 传感头和分光单元已经配套调整完毕。无兼容性。
*2 表示与传感头正面的距离。会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。
*3 表示测量范围内的最小光束直径。
*4 当测量对象是玻璃板表面并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值
*5 不使用峰值间计算时为 0.25 μm。
*6 当ꦏ测♎量对象是位于测量中心厚度为 t=0.1 mm 的玻璃,并将平均测量次数设定为 4096 次时获得的值

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