形状图片检测激光机器显微装置 VK-X 品类

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推送带替的产品: 控制器 - VK-X3000

控制模块 VK-X1000

VK-X1000 - 控制器

*请主意,圖片中的佩饰或者不有在设备中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

应用VK-X1000
的类型管理器
全方位的系数

28,800 倍以下*1

世界 (面积最小世界依据)11 µm 至 7,398 µm
帧率 (激光器检测线速度)

4 至 125 Hz、7,900 Hz*2

预估远离光学反应程序针孔共集焦光学薄膜系统性、调焦
光推送器件16 bit 感器光电材料增涨器、高柔性生产多彩CMOS

扫描方式
(常规测量时及图像拼接时)

自功两边限设置好系统、绕城高速光量最好化系统 (AAGII)、反射性光量问题增加系统 (双打印)
相对高度測量显视判断率0.5 nm (VK-X1100)、5 nm (VK-X1050)
线形刻度

动态量程
(来自工件的光接收量的适用幅度)

16 bit
重覆的精密度σ激光行业共精准定位

20 倍 : 40 nm、50 倍 : 12 nm (VK-X1100)
20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1050)

对焦

5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1100)
5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50🌳 倍 : 30 nm (VK-X1050)

高数据资料拿范畴70 万步数
精确性

0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)*3

参数自动测量表现辨认率1 nm (VK-X1100)、10 nm (VK-X1050)
连续精密度较 3σ皮秒激光共集焦

20 倍 : 100 nm、50 倍 : 40 nm (VK-X1100)
20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1050)

对焦

5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1100)
5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 :💝 65 nm (VK-X1050)

更准确度

测量值±2 % 以内*3

XY 载物台机构手工 操作依据70 mm x 70 mm
电动伸缩 执行範圍100 mm x 100 mm
探究分析图像文件高水准高效化五彩CMOS 画像、16 bit 激光手术器五彩共的点画像、共的点 + ND 滤波器光学元件平台、C - 激光手术器微分干涉现象画像
采光环状照明设备系统、同轴落射照明设备系统
测定用智能机械的光源吸光度

紫色半导体激光 404 nm (VK-X1100)
红色半导体激光 661 nm (VK-X1050)

更大效果1 mW
机光服务2 类脉冲激光物料 (GB7247.1)
电源开关开关电源电阻值100 至 240 VAC、50/60 Hz
需求量瞬时电流150 VA
体重约 3.0 kg

*1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。

技术性年纪(PDF) 其他形号