图行量测二氧化碳激光显微设备 VK-X3000 国产

有效控制模块 VK-X3000

VK-X3000 - 控制器

*请重视，图文中的物品应该不例如在产品核心设备中。

规格

应用		VK-X3000
业务类型		抑制器
总合系数		42 至 28800 倍^*1
眼光位置		11 至 7398 μm
在线测量关键技术		离子束共集焦、集焦不同、白炽干预、分光干预
离子束泛光灯激发光谱		VK-X3100: 半导体激光 404 nm VK-X3050: 半导体激光 661 nm
最大皮秒激光測量的速度		面：125 Hz、线：7900 Hz^*2
激光器最大化输送		0.9 mW
激光器等级划分		2 类脉冲激光好产品（GB7247.1）
激光手术受光电子器件		16 bit 感测器光电产品增长器
黄白色黑与白		白色的 LED
灰白色光受光组件		混凝土泵送协调采色 CMOS
智能机械共集焦	层面体现识别率	VK-X3100: 0.1 nm VK-X3050: 1 nm
	间距按顺序准确度 σ	VK-X3100: 10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：12 nm VK-X3050: 10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：20 nm
	高宽比更严谨性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	横向展示判别率	VK-X3100: 0.1 nm VK-X3050: 1 nm
	厚度重复使用高精准度 3σ	VK-X3100: 10 倍：200 nm、20 倍：100 nm、50 倍：40 nm VK-X3050: 10 倍：400 nm、20 倍：100 nm、50 倍：50 nm
	横向正确性	测量值 ±2% 以内^*3
专注变现	长度现示辩别率	VK-X3100: 0.1 nm VK-X3050: 1 nm
	较高从复gps精度 σ	VK-X3100: 5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、 20 倍：50 nm、50 倍：20 nm VK-X3050: 5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、 20 倍：50 nm、50 倍：30 nm
	程度最准性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	宽信息显示辩认率	VK-X3100: 0.1 nm VK-X3050: 1 nm
	高宽比连续gps精度 3σ	VK-X3100: 5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、 50 倍：50 nm VK-X3050: 5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、 50 倍：65 nm
	横向合理性	测量值 ±2% 以内^*3
白炽干涉现象	非常呈现签别率	0.01 nm
	宽展现辩认率	0.1 nm
	Surface Topography Repeatability	0.08 nm^*4
	Repeatability of RMS	0.008 nm^*4
分光干涉现象膜厚衡量	连续误差 σ	0.1 nm^*4
	为准性	±0.6%^*4
光电技术观查	象素数	560 万
	改变器	6 孔直流电动快门转型器
	符合于方形光照的微距镜头	2.5 倍、5 倍、10 倍
	光学元件微距	1 至 8 倍
XY 载物台格局	手动挡操作领域	70 × 70 mm
	电动伸缩自动运行领域	100 × 100 mm
电源开关	电源适配器额定电压	100 至 240 VAC、50/60 Hz
	耗损工作电压	150 VA
生活环境抗意志力	生活环境外部温度	+15 至 28°C
	相对来说水分子含量	20 至 80% RH（无结晶）
毛重		约 3 kg
^1 23 寸显示器画面上的倍率（全屏显示时） ^2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中，取最快的一组组合时。线扫描的情况下，测量间距小于 0.1 μm 时。 ^3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时 ^4 基恩士规定测量环境下的代表值。

新技术型号规格(PDF) 其他的具体型号

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有效控制模块 VK-X3000

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