精确测量头 (橙红色光电器件激光手术) VK-X1050

VK-X1050 - 测量头 (红色半导体激光)

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技术规格(PDF)

技木規格(PDF)

规格

材质			VK-X1050
多种类型			测量方法头
综合管理系数			28,800 倍以下^*1
观景眼界 (轻柔的观景眼界的范围)			11 µm 至 7,398 µm
帧率 (离子束衡量进程)			4 至 125 Hz、7,900 Hz^*2
測量操作过程	光学薄膜程序		针孔共精准定位光电技术装置、微距
	光考虑开关元件		16 bit 感觉微电子培增器、过高精密多色CMOS
	扫描方式 (常规测量时及图像拼接时)		自动式两排限控制在职能、稳定光量合适化职能 (AAGII)、全被反射的光量过低提供职能 (双打印)
较高测量方法	表示判定率		5 nm
	线型标尺刻度
	动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度)		16 bit
	按顺序的精密度σ	激光束共聚焦点	20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm
		对焦	5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm
	髙度资料获利时间范围		70 万步驟
	更准性		0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)^*3
净宽在测量	信息显示辨认率		10 nm
	反复的精密度 3σ	离子束共集聚	20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm
		光学变焦	5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm
	最准确率		测量值±2 % 以内^*3
XY 载物台的结构	清理工作範圍		70 mm x 70 mm
	電動正常运行范围图		100 mm x 100 mm
仔细观察	查看画像		超多精密黑白CMOS 画像、16 bit 二氧化碳脉冲激光黑白共原点画像、共原点 + ND 滤波器光学元件机系统、C - 二氧化碳脉冲激光微分抵触画像
	灯具		环状照明灯灯具、同轴落射照明灯灯具
检测的用缴光灯光	激发光谱		红颜色半导体设备离子束 661 nm
	比较大导出		1 mW
	离子束设备		2 类机光食品 (GB7247.1)
外接电源	电原线电压		100 至 240 VAC、50/60 Hz
	消费交流电		150 VA
质量			约 13.0 kg
^1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。 ^2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 ^*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。