形状图片測量机光显微软件 VK-X3000 系类

估测头 VK-X3050

VK-X3050 - 测量头

*温馨提醒力，画面中的配件大全几率不主要包括在商品中。

规格

型号查询		VK-X3050
分类		侧量头
标准化倍数		42 至 28800 倍^*1
视觉范围图		11 至 7398 μm
衡量机理		离子束共凝聚、凝聚变现、白炽打搅、分光打搅
激光器LED光源光的波长		半导体材料皮秒激光 661 nm
高激光行业自动测量极限速度		面：125 Hz、线：7900 Hz^*2
脉冲光最主要模拟输出		0.9 mW
激光机器技能等级		2 类激光器类产品（GB7247.1）
脉冲光受光元器件		16 bit 感性光电材料培增器
纯白色光照		乳白色 LED
灰黑色光受光电子器件		高高效化采色 CMOS
机光共自动对焦	高强度表示签别率	1 nm
	极高重覆精密度 σ	10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：20 nm
	高准确的性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	高宽比体现分辩率	1 nm
	：宽度重叠表面粗糙度 3σ	10 倍：400 nm、20 倍：100 nm、50 倍：50 nm
	参数较准性	测量值 ±2% 以内^*3
凝焦變化	长度出现判定率	1 nm
	极度重叠高精度 σ	5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、 20 倍：50 nm、50 倍：30 nm
	宽度数据质量性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	尺寸显示信息甄别率	1 nm
	长宽多次重复定位精度 3σ	5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、 50 倍：65 nm
	长度合理性	测量值 ±2% 以内^*3
亮光干预	高强度信息显示辩认率	0.01 nm
	长度显视分辩率	0.1 nm
	Surface Topography Repeatability	0.08 nm^*4
	Repeatability of RMS	0.008 nm^*4
分光抵触膜厚校正	重覆高精度 σ	0.1 nm^*4
	最准性	±0.6%^*4
光学元件观擦	图片像素数	560 万
	转移器	6 孔电动四轮变焦镜头转型器
	可应用于于椭圆形采光的境头	2.5 倍、5 倍、10 倍
	光电技术调焦	1 至 8 倍
XY 载物台机构	手动操作时自动运行范围图	70 × 70 mm
	電動电脑运行区域	100 × 100 mm
电	主机电源线电压	100 至 240 VAC、50/60 Hz
	所耗输出功率	150 VA
条件抗耐心	坏境工作温度	+15 至 28°C
	相比较环境湿度	20 至 80% RH（无缓凝）
体积		约 13 kg
^1 23 寸显示器画面上的倍率（全屏显示时） ^2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中，取最快的一组组合时。线扫描的情况下，测量间距小于 0.1 μm 时。 ^3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时 ^4 基恩士规定测量环境下的代表值。

能力规格为(PDF) 别形号

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