线条在测量皮秒激光显微设计 VK-X 题材

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强烈推荐带替企业产品: 控制器 - VK-X3000

管理器 VK-X250K

VK-X250K - 控制器

*请重视，视频中的配件批发或许不涉及到在护肤品中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

型号查询VK-X250K
整体功率

28000 倍以下*1

面前 (是较为小的观测区间)11 µm 至 5400 µm
帧频点离子束精确测量速度慢

4 至120 Hz、7，900 Hz*2

检测的的原理光纤激光切割机的软件针孔共准确把握光纤激光切割机的体统
光接受零件微电子培增器、16 bit 红外感应
阅读方式英文 (规范化预估时及图象连结时)系统自动高低限设备作用模块 飞速光量佳化作用模块(AAG Ⅱ)散射光量缺点食用作用模块(双扫视)
宽度自动测量凸显粪便率0.5 nm
规则化尺标
动向量限 (基轴类零件的光发送到量的适用性艺术)16 bit
去重复高精准度σ

20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm*3

Z轴衡量用运行内存1400 万操作步骤
正确度性

0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4

Z 载物台节构空间结构精确测量头分離结构特征
极限供试品较高28 mm, 128 mm (可以件)
总宽测试展示识别率1 nm
去重复导致精度3σ

20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm*3

精确性

±2％*5

XY 载物台型式人工 开机运行规模70 mm×70 mm
电动四轮 运营范围内

50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6

查看通过观察影像

超高精细彩色CCD 图像
16 bit 激光彩色共焦点图像
共焦点+ ND 滤波器光学系统
C- 激光微分干涉图像

最明显影视拍摄探讨率3072×2304
测量方法用二氧化碳激光点光源光波长紫激光机器 408 nm
大工作输出0.95 mW
脉冲激光物品2 类激光手术类产品 (GB7247.1)
重量体积在线测量部约26 kg(剥离时自动测量头一人: 约10 kg)
调节器部约 11 kg

*1 23 英寸显示器记载。
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
*3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。
*4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。
*5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。
*6 安装电动载物台时。

技术性型号(PDF) 别具体型号