形状图片在测量激光束显微操作系统
VK-X 系
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电动式Ｘ－Ｙ台 VK-S105
规格
| 技术参数 | VK-S105 | |||
| 挪动大方向 | X/Y轴 | |||
| 冲程 | 50×50 mm | |||
| 任务台尺寸大小 | 100×100 mm | |||
| 手册技巧 | 交错中键导轨 | |||
| 进给手段 | 精密模具滚珠蜗杆、引线1 mm | |||
| 轴改换空气阻力 | X轴 9.29×10-7kg・m2、 Y轴 9.62×10-7kg・m2 | |||
| 起动电机 | 0.35A/相、5相步进马达5线五边形接线、保持扭矩：0.017N・m、旋转惯性：4.2g・cm2 | |||
| 鉴别率 | 1 µm | |||
| 定位手机高精度 | 10 µm | |||
| 反复重复定位功能精度等级 | ±1 µm | |||
| 反跳 | 1 µm | |||
| 空转 | 3 µm | |||
| 准确性 (保持竖直/级别) | 5 µm | |||
| 持平性A | X：10 µm、Y：10 µm | |||
| XY直的角度 | 10 µm | |||
| 耐诱发 | 3 kg | |||
| 主资料/概观 | 铝金属、褐色阳极操作 | |||
| 权重 | 2.5 kg | |||
