线条估测脉冲光显微设计
VK-X 系
安利代替的产品: 形状测量激光显微系统 - VK-X3000 系列
自动Ｘ－Ｙ台 VK-S110
规格
| 规格型号 | VK-S110 | |||
| 移动式方向盘 | X/Y轴 | |||
| 冲程 | 100×100 mm | |||
| 工作中台图片尺寸 | 140×140 mm | |||
| 要点手段 | 穿插滑动导轨 | |||
| 进给方式 | 高精度滚珠滚珠丝杠、引线1 mm | |||
| 轴准换惯力 | X轴 9.29×10-7kg・m2、 Y轴 9.62×10-7kg・m2 | |||
| 电机马达 | 0.35A/相、5相步进马达5线五边形接线、保持扭矩：0.017N・m、旋转惯性：4.2g・cm2 | |||
| 判定率 | 1 µm | |||
| 分析控制精度 | 10 µm | |||
| 抄袭手机定位的精密度 | ±1 µm | |||
| 回落 | 1 µm | |||
| 空转 | 3 µm | |||
| 举例子性 (纵向/平均水平) | 15 µm | |||
| 垂直性A | X：20 µm、Y：20 µm | |||
| XY直视场角 | 15 µm | |||
| 耐增加 | 3 kg | |||
| 主板材/概观 | 锰钢属、白色阳极外理 | |||
| 重量体积 | 3.7 kg | |||
