图行测试离子束显微装置
VK-X 品类
介绍混用产品的: 测量头 - VK-X3100
认识自己: 4008-215-686 看法表
测定头 (紫光电器件激光束) VK-X1100
规格
| 产品型号 | VK-X1100 | |||
| 多种类型 | 量测头 | |||
| 整体系数 | 28,800 倍以下*1 | |||
| 视线中 (最高视线中面积) | 11 µm 至 7,398 µm | |||
| 帧率 (智能机械测量方法速度快) | 4 至 125 Hz、7,900 Hz*2 | |||
| 检测的基本原理 | 电子光学体系 | 针孔共凝焦光学材料装置、微距 | ||
| 光发送电子器件 | 16 bit 感应式光电技术增涨器、高精致化五彩CMOS | |||
扫描方式 | 电脑自动左右两限人设工作表、快速光量最宜化工作表 (AAGII)、漫被反射的光量欠缺添加工作表 (双扫苗) | |||
| 角度测定 | 显现辨别好坏率 | 0.5 nm | ||
| 平滑表尺 | ||||
动态量程 | 16 bit | |||
| 连续表面粗糙度σ | 离子束共集聚 | 20 倍 : 40 nm、50 倍 : 12 nm | ||
| 光学变焦 | 5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 20 nm | |||
| 超高数据报告得使用范围 | 70 万过程 | |||
| 明确性 | 0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)*3 | |||
| 高度在线测量 | 屏幕上显示判定率 | 1 nm | ||
| 重复使用精度等级 3σ | 激光行业共集焦 | 20 倍 : 100 nm、50 倍 : 40 nm | ||
| 调焦 | 5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 50 nm | |||
| 更准性 | 测量值±2 % 以内*3 | |||
| XY 载物台构造 | 人工操作 执行范围之内 | 70 mm x 70 mm | ||
| 直流电动 自动运行空间 | 100 mm x 100 mm | |||
| 看 | 观擦画面 | 高精致黑白CMOS 颜色图形、16 bit 脉冲光黑白共视点颜色图形、共视点 + ND 滤波器光学玻璃控制系统、C - 脉冲光微分抵触颜色图形 | ||
| 光照 | 环状光照、同轴落射光照 | |||
| 检测的用激光器灯源 | 光波长 | 深紫色半导体材料激光行业 404 nm | ||
| 大所在 | 1 mW | |||
| 激光机器成品 | 2 类机光产品设备 (GB7247.1) | |||
| 供电 | 24v电源电流值 | 100 至 240 VAC、50/60 Hz | ||
| 使用电流大小 | 150 VA | |||
| 含水量 | 约 13.0 kg | |||
*1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。 | ||||
