的形状测定激光束显微体系 VK-X 系例

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控器 VK-X250K

VK-X250K - 控制器

*那么要注意事项,货品图片中的辅件几率不其中包括在货品中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

款型VK-X250K
綜合功率

28000 倍以下*1

视线中 (是较为小的检查区间)11 µm 至 5400 µm
帧频繁缴光在线测量转速

4 至120 Hz、7,900 Hz*2

精确测量原里光学元件软件针孔共聚焦点磁学程序
光收到元器件封装光电科技飙升器、16 bit 感测器
扫面的方式 (普通在线测量时及图像文件连结时)全自动上限设定的性能 极速光量最佳选择化的性能(AAG Ⅱ)光折射光量过低补足的性能(双扫描仪)
髙度测试出现区分率0.5 nm
线性网络尺标
动态化示值 (出自于铸件的光发收量的选用力度)16 bit
重复使用高精度σ

20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm*3

Z轴检测用內存1400 万步聚
精准的性

0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4

Z 载物台架构组成部分测定头分離框架
上限试样特别28 mm, 128 mm (必选件)
厚度估测呈现辨认率1 nm
相同精度等级3σ

20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm*3

正确性

±2%*5

XY 载物台成分自功 运作领域70 mm×70 mm
电动伸缩 进行超范围

50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6

观察植物观察动物图文

超高精细彩色CCD 图像
16 bit 激光彩色共焦点图像
共焦点+ ND 滤波器光学系统
C- 激光微分干涉图像

较大旅拍讲解率3072×2304
校正用智能机械黑与白主波长紫皮秒激光 408 nm
极大模拟输出0.95 mW
机光產品2 类激光束成品 (GB7247.1)
体重自动测量部约26 kg(区分时测定头模型: 约10 kg)
调整器部约 11 kg

*1 23 英寸显示器记载。
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
*3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。
*4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。
*5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。
*6 安装电动载物台时。

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