模样测量方法激光器显微系统化 VK-X3000 款型

总目录 免费下载索引

有效调节器 VK-X3000

VK-X3000 - 控制器

*请需要注意,画面中的配饰将不收录在软件中。

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

产品型号VK-X3000
品类管控器
综上系数

42 至 28800 倍*1

生理盲点领域 11 至 7398 μm
衡量方法离子束共精准定位、精准定位变、亮光抵触、分光抵触
机光点光源主波长

VK-X3100: 半导体激光 404 nm
VK-X3050: 半导体激光 661 nm

至高激光手术预估速度快

面 :125 Hz、线 :7900 Hz*2

激光机器最主要效果0.9 mW
激光手术品级2 类缴光成品(GB7247.1)
脉冲激光受光pcb板16 bit 自感应光学持续增长器
灰黑色光照紫色 LED
暗红色光受光构件过高精细化多色 CMOS
激光器共对焦高彰显判别率

VK-X3100: 0.1 nm
VK-X3050: 1 nm

长度多次要求 σ

VK-X3100: 10 倍 :100 nm、20 倍 :40 nm、50 倍 :12 nm
VK-X3050: 10 倍 :100 nm、20 倍 :40 nm、50 倍 :20 nm

较高更可靠性

0.2+L/100 μm 以下*3

厚度展示区分率

VK-X3100: 0.1 nm
VK-X3050: 1 nm

参数多次精确度 3σ

VK-X3100: 10 倍 :200 nm、20 倍 :100 nm、50 倍 :40 nm
VK-X3050: 10 倍 :400 nm、20 倍 :100 nm、50 倍 :50 nm

长度更有效性

测量值 ±2% 以内*3

整合改变位置凸显辨别率

VK-X3100: 0.1 nm
VK-X3050: 1 nm

较高多次精准度 σ

VK-X3100: 5 倍 :500 nm、10 倍 :100 nm、
20 倍 :50 nm、50 倍 :20 nm
VK-X3050: 5 倍 :500 nm、10 倍 :100 nm、
20 倍 :50 nm、50 倍 :30 nm

高宽比准确的性

0.2+L/100 μm 以下*3

长度展现辩别率

VK-X3100: 0.1 nm
VK-X3050: 1 nm

高度再次的精密度 3σ

VK-X3100: 5 倍 :400 nm、10 倍 :400 nm、20 倍 :120 nm、
50 倍 :50 nm
VK-X3050: 5 倍 :400 nm、10 倍 :400 nm、20 倍 :120 nm、
50 倍 :65 nm

尺寸最准性

测量值 ±2% 以内*3

白灯打搅间距彰显辨别好坏率0.01 nm
参数信息显示鉴别率0.1 nm
Surface Topography Repeatability

0.08 nm*4

Repeatability of RMS

0.008 nm*4

分光打搅膜厚侧量多次重复精密度 σ

0.1 nm*4

精确性性

±0.6%*4

光学元件通过观察图片分辨率数560 万
转化成器6 孔电动四轮定焦转成器
适用人群于方形照明设备的定焦镜头2.5 倍、5 倍、10 倍
光学玻璃微距1 至 8 倍
XY 载物台构造自动开机运行区间70 × 70 mm
直流电动启动範圍100 × 100 mm
电源开关外接电源的电压100 至 240 VAC、50/60 Hz
耗电量电率150 VA
学习环境抗耐心坏境气温+15 至 28°C
相湿球温度20 至 80% RH(无缓凝)
约 3 kg

*1 23 寸显示器画面上的倍率(全屏显示时)
*2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中,取最快的一组组合时。线扫描的情况下,测量间距小于 0.1 μm 时。
*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时
*4 基恩士规定测量环境下的代表值。

科技的规格(PDF) 相关主要参数