的形状估测激光手术显微设计 VK-X3000 国产

在线测量头 VK-X3050

VK-X3050 - 测量头

*请还要注意，图片搜索中的零配件应该不也包括在成品中。

规格

参数		VK-X3050
类		校正头
基础性系数		42 至 28800 倍^*1
角度规模		11 至 7398 μm
在线测量道理		智能机械共对焦、对焦转变、亮光打搅、分光打搅
激光器led灯光光的波长		半导激光机器 661 nm
最多二氧化碳激光在线测量网络速度		面：125 Hz、线：7900 Hz^*2
激光束最多输送		0.9 mW
离子束分类		2 类二氧化碳激光产品的（GB7247.1）
缴光受光pcb板		16 bit 感性微电子净增器
白色的灯源		灰白色 LED
黑色光受光电气元件		超多柔性生产采色 CMOS
脉冲激光共聚交	髙度表示判定率	1 nm
	位置去重复gps精度 σ	10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：20 nm
	的高度更准性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	净宽凸显判断率	1 nm
	长度重覆准确度 3σ	10 倍：400 nm、20 倍：100 nm、50 倍：50 nm
	净宽明确性	测量值 ±2% 以内^*3
凝焦变化规律	位置凸显分辩率	1 nm
	高强度多次重复高精准度 σ	5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、 20 倍：50 nm、50 倍：30 nm
	超高为准性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	高度显现判别率	1 nm
	间距去重复导致精度 3σ	5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、 50 倍：65 nm
	参数精准的性	测量值 ±2% 以内^*3
亮光干预	长度呈现辨认率	0.01 nm
	尺寸表现鉴别率	0.1 nm
	Surface Topography Repeatability	0.08 nm^*4
	Repeatability of RMS	0.008 nm^*4
分光干涉现象膜厚精确测量	重叠表面粗糙度 σ	0.1 nm^*4
	准确度性	±0.6%^*4
光电技术观测	图片像素数	560 万
	换算器	6 孔电动三轮镜头时转型器
	常应用在方形照明灯的广角镜头	2.5 倍、5 倍、10 倍
	光学仪器微距	1 至 8 倍
XY 载物台架构	人工运动标准	70 × 70 mm
	直流电动运营范围之内	100 × 100 mm
电	交流电源电压电流	100 至 240 VAC、50/60 Hz
	消费输出功率	150 VA
工作环境抗耐心	的环境摄氏度	+15 至 28°C
	相比较内部含水率	20 至 80% RH（无凝聚）
体积		约 13 kg
^1 23 寸显示器画面上的倍率（全屏显示时） ^2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中，取最快的一组组合时。线扫描的情况下，测量间距小于 0.1 μm 时。 ^3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时 ^4 基恩士规定测量环境下的代表值。

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