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估测头 VK-X3100

VK-X3100 - 测量头

*请特别注意，所有图片中的配件价格已经不以及奶茶产品的中。

规格

规格型号		VK-X3100
性质		侧量头
综合性系数		42 至 28800 倍^*1
视角范围内		11 至 7398 μm
衡量作用		激光机器共精准定位、精准定位变现、亮光约束、分光约束
激光机器光线光波波长		半导体行业智能机械 404 nm
最快激光器校正强度		面：125 Hz、线：7900 Hz^*2
激光器更大的输出		0.9 mW
激光行业等级保护		2 类二氧化碳激光好产品（GB7247.1）
激光束受光元器件封装		16 bit 感应器光电科技增涨器
黄色点光源		紫色 LED
纯白色光受光元器件		混凝土泵送精致化彩色的 CMOS
激光束共凝聚	超高界面显示辨认率	0.1 nm
	层面重覆计算精度 σ	10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：12 nm
	相对高度合理性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	高度表现分辩率	0.1 nm
	宽重覆控制精度 3σ	10 倍：200 nm、20 倍：100 nm、50 倍：40 nm
	：宽度确切性	测量值 ±2% 以内^*3
凝聚发生改变	位置表明辨别好坏率	0.1 nm
	宽度去重复gps精度 σ	5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、 20 倍：50 nm、50 倍：20 nm
	相对高度确切性	0.2+L/100 μm 以下^*3
	长度展现甄别率	0.1 nm
	间距去重复精密度 3σ	5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、 50 倍：50 nm
	高度精准的性	测量值 ±2% 以内^*3
白灯干涉仪	极度显视辨认率	0.01 nm
	总宽展示判别率	0.1 nm
	Surface Topography Repeatability	0.08 nm^*4
	Repeatability of RMS	0.008 nm^*4
分光干扰膜厚预估	抄袭表面粗糙度 σ	0.1 nm^*4
	最准性	±0.6%^*4
磁学观察动物	像数数	560 万
	换为器	6 孔電動镜头时准换器
	实用在方形照明电器的鏡头	2.5 倍、5 倍、10 倍
	光纤激光切割机的微距	1 至 8 倍
XY 载物台结构设计	人工手动开启机组使用比率	70 × 70 mm
	直流电动启动规模	100 × 100 mm
电压	电源线输出功率	100 至 240 VAC、50/60 Hz
	需求量工作功率	150 VA
的环境抗适应力	室内周围温度因素	+15 至 28°C
	相对来说干湿度	20 至 80% RH（无结晶）
承重		约 13 kg
^1 23 寸显示器画面上的倍率（全屏显示时） ^2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中，取最快的一组组合时。线扫描的情况下，测量间距小于 0.1 μm 时。 ^3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时 ^4 基恩士规定测量环境下的代表值。

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